捷(jié)銳u53系列高(gāo)純減(jiǎn)壓器
作者(zhě)：admin 發布(bù)時(shí)間：2020-04-23 13:39:25 浏覽(lǎn)次數 :772
u53系(xì)列(liè)減壓(yā)器适(shì)用于高純(chún)氣體應(yīng)用，采用内部無螺紋、非(fēi)焊接(jiē)膜片結構(gòu)。膜片和閥體的(de)密封采用(yòng)
了硬(yìng)密封(fēng)的(de)設
計，降(jiàng)低洩漏率(lǜ)，同時提(tí)高(gāo)了安全性(xìng)和使用壽命。
結(jié)構特點
316l不鏽鋼(gāng)母體
膜(mó)片(piàn)式硬密封(fēng)，洩漏率低(dī)
可采用面(miàn)闆安(ān)裝和後座安裝(zhuāng)
壓力表标準連接：1/4" frs(m), 可(kě)選1/4" frs(f)
内(nèi)部電(diàn)解抛光
專爲高(gāo)純(chún)淨應用生産(chǎn)制造
高潔淨的(de)組裝和包裝适(shì)用于(yú)高潔淨度的半(bàn)導(dǎo)體行業(yè)
使(shǐ)用(yòng)壽命(mìng)長
100%氦(hài)氣測試
材質
母(mǔ)體：316l, hastelloy®
閥座：pctfe
膜片：elgiloy®, hastelloy
上蓋：316, hastelloy
®
功(gōng)能(néng)特(tè)性
流(liú)量：cv=0.054
母體洩漏率(lǜ)：2×10
-8 atm cc/sec he
閥座洩(xiè)漏率：4×10
-8 atm cc/sec he
設(shè)計驗證壓力：最(zuì)大額定壓力的(de)150%
設計爆破壓力(lì)：最大額定壓力(lì)的400%
工作條(tiáo)件
最大的入(rù)口壓力：300 psi (20 bar)
出口(kǒu)壓(yā)力：0~30 psi (2 bar)
溫度(dù)：-18℃~60℃ (0°f~140°f)
流道表面
标準(zhǔn)：ra 20 µin
内部(bù)容積
9.3 cc
